靜電吸盤高壓電源
ELECTROSTATIC CHUCK HIGH VOLTAGE POWER SUPPLY
靜 電 吸 盤 高 壓 電 源 EC-全系列 ±1KV ~ ± 2.5KV多款可選
產品說明:
ESC藉由施加 ±1000V ~ ±2500V雙極性高壓於電擊承載板上產生靜電 ‚
可有效吸附晶圓 / 銅箔 / 玻璃 / 紙類等..
●吸附不會產生傷痕和皺紋。
●可於真空環境下產生吸力。
●吸附耗能低 ‚ 無微粒產生。
★Specificagions Subject to change without notice / 規格尺寸如有變更,不另行通知
靜 電 吸 盤 高 壓 電 源 EC-全系列 ±1KV ~ ± 2.5KV多款可選
產品說明:
ESC藉由施加 ±1000V ~ ±2500V雙極性高壓於電擊承載板上產生靜電 ‚
可有效吸附晶圓 / 銅箔 / 玻璃 / 紙類等..
產品特色:
●EC系列可選 4.5W ~ 6W 高壓電源。
●開關式(DC / DC BOOST)電路技術。
●體積小 / 高效率和穩定度高等優點。
●EC系列可選 4.5W ~ 6W 高壓電源。
●開關式(DC / DC BOOST)電路技術。
●體積小 / 高效率和穩定度高等優點。
●MCU軟體控制輸出極性轉換。
ESC應用與優點:
●吸附力均勻不會局部受力。●吸附不會產生傷痕和皺紋。
●可於真空環境下產生吸力。
●吸附耗能低 ‚ 無微粒產生。
★Specificagions Subject to change without notice / 規格尺寸如有變更,不另行通知
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